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自動光學檢測 Automated Optical Inspection（AOI）

作業概說

MGC-MM150上下位置檢測光學系統是一部量測『4吋』及『6吋』晶圓上下特徵位置設備。係藉由人工將晶圓放置於光學系統移動平台上，針對需要量測之位置，進行上下特徵點位置量測比對，計算誤差。

機台硬體介紹

  1. 機台架
  2. 手動XY平台
  3. 晶片承載盤(4吋及6吋)
  4. 上光學系統(含相機、鏡頭、光源、XYZαβ微調座)
  5. 下光學系統(含相機、鏡頭、光源、Zαβ微調座)
  6. 光源調光器
  7. 工業電腦主機
  8. 螢幕、鍵盤滑鼠
  9. 十字校正片
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